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中瓷电子:公司陶瓷静电卡盘作为晶圆加工设备关键耗材,用于晶圆制造

2026年05月13日 23:42
 

证券之星消息,中瓷电子(003031)01月28日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。

投资者提问:贵公司先进陶瓷 静电卡盘 精密陶瓷零部件等是否可用于晶圆制造(包括存储芯片)前道工艺设备

中瓷电子回复:您好,公司精密陶瓷零部件是采用氧化铝、氮化铝等先进陶瓷经精密加工后制备的半导体设备用核心零部件,具有高强度、耐腐蚀、高精度等优异性能,应用于半导体关键设备中。公司陶瓷静电卡盘作为晶圆加工设备关键耗材,用于晶圆制造,谢谢您的关心。